1,隨著氣體壓力升高,在弧光放電過程中,單位時間內碰撞次數增加,電子與其他重粒子之間發(fā)生充分的能量交換,電子溫度與氣體溫度,離子溫度逐漸趨于相等,等離子體由非平衡狀態(tài)過渡到熱平衡狀態(tài)。
2,等離子體相對與處于浮動電位的物體來說,一半處于正電位。
3,弧光放電級間電壓很低,電極上的電流密度很大,陰極附近的高密度電流,大部分由陰極表面的電子攜帶,而不是由電離形成的正離子攜帶。
4,真空電弧的電流密度很大,電弧本身的電流在周圍感生徑向磁場,產生洛倫茲力,在電磁力的作用下,電弧向軸線壓縮,產生磁壓縮效應
5,冷陰極弧光放電的電子發(fā)射機制i主要是場致發(fā)射。
6,“起弧”定義:在刻蝕和涂層階段,由涂層電源提供等離子體,在
等離子體中包含大量的正離子和電子,如果此時在基體和腔體之間加上
負向偏壓,則一部分正離子會被吸附到基體上,同時電子會被吸引到腔
體,形成偏壓電流。正常情況下,偏壓電流均勻分布到基體和腔體之間。
但是特殊情況下,偏壓電流突然上升,并且大部分電流都從工件上某個
特定位置流過,這種情況我們稱之為“起弧”。起弧現(xiàn)象會引起工件灼
傷,嚴重甚至報廢。
“起弧”原因:關于起弧的原因有很多,在工作中我們發(fā)現(xiàn)除了設
備不正常導致偏壓電流突然上升外,引起起弧的原因主要有兩個。在刻
蝕階段主要是由于前處理(清洗和噴砂)不充分,導致工件過臟,這些雜
質在等離子體中會被二次電離,從而釋放出過多電子,導致偏壓電流突
然上升。在涂層階段,基本上是由于工件在大盤(即裝載工件的架子,和
偏壓電源陰極直接相連)上未進行正確裝載,導致接觸電阻不斷變化。
因為偏壓電壓不變,所以電壓會集中到電阻最大的地方,導致這個區(qū)域
附近的工藝氣體發(fā)生電離,產生“起弧”。
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